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磁控溅射镀单晶

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请问各位朋友,老板要让用磁控溅射镀单晶薄膜。可是一般看文献,都是用PLD,MBE镀的,不知这种镀膜方式做得出做不出?有经验的朋友能否给一些自己的经验或者见解?
如果退一步,不镀单晶薄膜,镀多晶膜,有微米量级的微晶也可以,这样的话使用玻璃衬底可不可以?或者单晶硅?二氧化硅?
此外,如果是非晶膜,通过退火能不能退成多晶膜甚至单晶膜?
谢谢各位朋友!只要有想法都可以评论,向大家学习!


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